Требования к калибровщикам

Содержание:

Должностная инструкция инженера-калибровщика СИ

О Б Щ А Я Ч А С Т Ь

1. Инженер-калибровщик, осуществляющий калибровку приборов, должен быть аттестован на право калибровки. Переаттестация на право калибровки производится 1 раз в 5 лет.
2. Инженер-калибровщик подчиняется начальнику.
3. В своей работе инженер-калибровщик руководствуется: нормативными и методическими документами ГСИ, ведомственными документами и документами предприятия, относящимися к калибровке средств измерений (общими документами и конкретными документами по калибровке приборов, эксплуатирующихся на предприятии); Положением о метрологической службе предприятия; Руководством по качеству, данной должностной инструкцией, приказами и инструкциями, регламентирующими работу метрологической службы.

КВАЛИФИКАЦИОННЫЕ ТРЕБОВАНИЯ И НЕОБХОДИМЫЙ УРОВЕНЬ ЗНАНИЙ

1. Должность инженера-калибровщика укомплектовывается специалистом с высшим техническим образованием, получившим специальную подготовку (либо без специальной подготовки, но окончившим высшее учебное заведение со специализацией в области метрологии и измерительной техники) и имеющим практический стаж работы в поверочном подразделении.
2. Инженер-калибровщик должен знать:
— положения Закона Российской Федерации «Об обеспечении единства измерений» и основополагающих документов ГСИ, относящиеся к поверочной и калибровочной деятельности, метрологическому контролю и надзору;
— нормативные и методические документы на методы и средства поверки и калибровки приборов, эксплуатируемых на предприятии, а также эксплуатационные и ремонтные документы на эти приборы;
— методики выполнения измерений, контроля и испытаний, в которых используются калибруемые приборы, условия эксплуатации этих приборов в подразделениях предприятия;
— устройство и правила эксплуатации эталонов и установок, используемых для калибровки приборов;
— передовой отечественный и зарубежный опыт в области метрологического контроля и надзора, поверки и калибровки приборов;
— основы экономики метрологической деятельности, научной организации труда, трудового законодательства;
— требования руководства по качеству;
— правила техники безопасности, производственной санитарии и противопожарной защиты, действующие на предприятии.

1. Выполняет калибровку приборов.
2. Составляет графики поверки и калибровки, по их результатам разрабатывает рекомендации по корректировке межповерочных интервалов.
3. Выполняет сложные измерения величин при анализе точности технологических процессов и разрешении разногласий, возникающих между подразделениями предприятия по вопросам метрологии.
4. Разрабатывает локальные калибровочные схемы.
5. Оценивает погрешность измерений величин, выполняемых в технологических процессах предприятия.
6. Осуществляет метрологический надзор в подразделениях предприятия за состоянием и применением приборов, за аттестованными методиками выполнения измерений.
7. Участвует в выборе средств измерений величин, в определении потребности в средствах измерений и разработке планов внедрения новой измерительной техники, методик выполнения измерений, в выработке
технических заданий на разработку не необходимых средств измерений, в их экономическом обосновании.
8. Принимает участие в аттестации методик выполнения измерений, в метрологической экспертизе технической документации.
9. Систематически повышает свою квалификацию в области метрологического контроля и надзора, поверки и калибровки приборов.
10. Контролирует укомплектованность обменного фонда СИ, хранение и поддержание в надлежащем состоянии образцовых СИ.

Инженер-калибровщик имеет право:
1. Калибровать приборы в соответствии с областями (видами) измерений, установленными при его аттестации в качестве калибровщика;
2. Проверять состояние и условия применения средств измерений, находящихся в подразделениях предприятия;
3. Проверять применение аттестованных методик выполнения измерений;
4. Представлять предложения о запрещении применения в сферах распространения государственного метрологического контроля и надзора приборов неутвержденных типов или не соответствующих утвержденному типу, а также неповеренных;
5. Составлять протоколы о нарушении метрологических правил и норм.

Инженер-калибровщик несет ответственность:
1. За невыполнение в установленные сроки графиков поверки, калибровки и плановых работ;
2. За несоблюдение требований документов на методы и средства поверки и калибровки средств измерений, правил осуществления метрологического контроля и надзора, других документов по обеспечению единства измерений, относящихся к выполняемым заданиям;
3. За сохранность используемых эталонов, поверочных установок, средств измерений и материальных ценностей, находящихся в его распоряжении;
4. За несоблюдение производственной и трудовой дисциплины, правил охраны труда, техники безопасности и пожарной безопасности.

ГОСТ Р 8.636-2007 ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫЙ
СТАНДАРТ
РОССИЙСКОЙ
ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения
единства измерений

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ
РАСТРОВЫЕ

Методика калибровки

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» и государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Нанотехнологии и наноматериалы» Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 20 ноября 2007 г. № 319-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользованияна официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Термины и определения

4 Технические требования

5 Требования к квалификации калибровщиков

6 Требования по обеспечению безопасности

7 Подготовка к процедуре калибровки

8 Процедура проведения измерений

9 Обработка результатов измерений

10 Оценка неопределенности измерений параметров

11 Оформление результатов калибровки

ГОСТ Р 8.636-2007

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ

Методика калибровки

State system for ensuring the uniformity of measurements.
Scanning electron microscopes. Methods for calibration

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 -9 до 10 -6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*

ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация

ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.

Примечание — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.

растровый электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом. [ ГОСТ 21006-75, статья 3]

3.2 рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

3.3 элемент рельефа поверхности (элемент рельефа): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

ускоряющее напряжение электронного микроскопа (ускоряющее напряжение): Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа. [ ГОСТ 21006-75, статья 47]

изображение во вторичных электронах: Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта. [ ГОСТ 21006-75, статья 33]

отклоняющая система электронного микроскопа (отклоняющая система): Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями. [ ГОСТ 21006-75, статья 25]

электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа: Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта. [ ГОСТ 21006-75, статья 50]

3.8 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

3.9 изображение на экране монитора РЭМ (видеоизображение): Изображение на экране монитора РЭМ в виде матрицы из л строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.

Примечание — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой в направлении глаза наблюдателя.

3.10 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.

3.11 масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ (масштабный коэффициент): Отношение значения длины исследуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.

Примечание — Масштабный коэффициент определяют для каждого РЭМ.

3.12 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.

3.13 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10 -6 м.

3.14 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.

3.15 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

3.16 электронный зонд РЭМ (электронный зонд): Сфокусированный на поверхности объекта электронный пучок РЭМ.

3.17 низковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ, ускоряющее напряжение которого не более 2 кВ.

3.18 высоковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ, ускоряющее напряжение которого не менее 15 кВ.

3.19 сканирование РЭМ элемента исследуемого объекта (сканирование): Перемещение электронного зонда вдоль выбранного отрезка исследуемого объекта с помощью отклоняющей системы РЭМ с одновременной регистрацией информативного сигнала.

3.20 медленные вторичные электроны; МВЭ: Группа вторичных электронов, возникающая в результате взаимодействия электронного зонда с исследуемым объектом, энергия которых не превышает 50 эВ (≈8·10 -18 Дж).

3.21 эффективный диаметр электронного зонда: Значение величины, характеризующей поперечный размер электронного зонда, экспериментально определяемое путем обработки кривой видеосигнала в режиме регистрации МВЭ в рамках выбранной модели взаимодействия зонда с веществом.

4 Технические требования

4.1 Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе калибровки

4.1.1 Суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ m должна быть не более 0,01 нм/пиксель.

4.1.2 Суммарная стандартная неопределенность измерения эффективного диаметра электронного зонда РЭМ d должна быть не более 1 нм.

Смотрите так же:  Пенсия детей с дцп

4.2 Требования к средству калибровки

4.2.1 Калибровку РЭМ проводят с помощью рельефной меры нанометрового диапазона (далее — рельефная мера), изготовленной по ГОСТ Р 8.628 и поверенной по ГОСТ Р 8.629.

4.2.2 Допускается применять другие средства калибровки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.

4.3 Требования к условиям проведения калибровки

4.3.1 Калибровку РЭМ проводят в следующих условиях:

— температура окружающей среды ……………….(20 ± 3) °С;

— относительная влажность воздуха ………………не более 80 %;

— атмосферное давление ……………………………(100 ± 4)кПа;

— напряжение питающей сети ……………………..

— частота питающей сети …………………………..50 +10 Гц.

4.3.2 Помещение (зона), где размещен РЭМ и средства его калибровки, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.

5 Требования к квалификации калибровщиков

Калибровку РЭМ должны проводить штатные сотрудники метрологических служб предприятий, аккредитованных в установленном порядке на проведение калибровочных работ по [1]. Сотрудники должны быть профессионально подготовлены, иметь опыт работы с РЭМ и знать требования настоящего стандарта. Рабочие места калибровщиков должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства.

6 Требования по обеспечению безопасности

При проведении калибровки РЭМ необходимо соблюдать правила электробезопасности по [2], [3] и требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061, [4], [5].

7 Подготовка к процедуре калибровки

7.1 Подготовку к процедуре калибровки РЭМ проводят следующим образом:

— выбирают необходимую для калибровки РЭМ рельефную меру по 4.2.1, сечение выступа которой приведено на рисунке 1а). В качестве исследуемого элемента используют выступ, для которого в паспорте (формуляре) на меру приведено значение проекции боковой грани на плоскость нижнего основания а.

X — ось значений координаты электронного зонда в направлении сканирования в пикселях; Y — ось значений информативного сигнала в пикселях

Рисунок 1 — Сечение выступа рельефной меры и его видеопрофили, полученные с помощью РЭМ различных типов

В зависимости от ожидаемого значения эффективного диаметра электронного зонда РЭМ d используют рельефную меру, для которой

— проводят осмотр футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельефной меры, на отсутствие механических повреждений;

— проводят проверку соответствия комплекта поставки рельефной меры данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную меру;

— выдерживают выбранный экземпляр рельефной меры в помещении, где будет проведена калибровка РЭМ, не менее 24 ч;

— извлекают рельефную меру из футляра и осматривают ее для выявления внешних повреждений (царапин, сколов и других дефектов) и загрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от частиц пыли струей очищенного и осушенного воздуха.

7.2 Выполняют операции, необходимые для подготовки РЭМ к работе, в соответствии с требованиями инструкции по его эксплуатации. При этом проводят внешний осмотр РЭМ, в процессе которого должно быть установлено:

— соответствие комплекта поставки РЭМ данным, приведенным в паспорте (формуляре);

— отсутствие механических повреждений всех составных частей РЭМ;

— отсутствие механических повреждений соединительных кабелей и сетевых разъемов;

— наличие маркировки на РЭМ и ее соответствие данным, приведенным в паспорте (формуляре).

7.3 Устанавливают рельефную меру на рабочий стол РЭМ.

7.4 В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ проводят подготовительные операции, которые включают в себя откачку воздуха из камеры образцов, установку ускоряющего напряжения и режимов работы осветительной системы, юстировку электронного зонда в режиме регистрации МВЭ. Ускоряющее напряжение должно обеспечивать требуемые условия функционирования как низковольтного, так и высоковольтного РЭМ.

7.5 При значениях электронно-оптического увеличения РЭМ от 20 до 100 определяют ту область на рабочем столе РЭМ, где расположена рельефная мера.

7.6 Постепенно повышают электронно-оптическое увеличение РЭМ и при этом на каждом этапе проводят фокусировку электронного зонда в соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ. Повышение электронно-оптического увеличения РЭМ прекращают при появлении на экране монитора микроскопа видеоизображения выступа, который указан в паспорте (формуляре) рельефной меры в качестве исследуемого элемента для калибровки РЭМ. Схематическое изображение наблюдаемого в режиме регистрации МВЭ видеопрофиля для выступа с трапецеидальным профилем, сечение которого изображено на рисунке 1а), приведено на рисунке 1б) — для низковольтного РЭМ и на рисунке 1в) — для высоковольтного РЭМ. На рисунке 1 также приведены обозначения параметров, характеризующих геометрическую форму и размеры выступа.

Примечание — Значение электронно-оптического увеличения РЭМ должно обеспечивать получение изображений, которые позволяют определить значения параметров, приведенных на рисунке 1б) и в).

7.7 Проверяют установку рельефной меры на рабочем столе РЭМ в соответствии с инструкцией по его эксплуатации. При этом проверяют:

— параллельность вертикальной оси изображения относительно перпендикуляра к поверхности рельефной меры. Для обеспечения параллельности поворачивают рельефную меру вокруг оси, перпендикулярной к плоскости ее поверхности, или осуществляют электронное вращение растра РЭМ, если такая возможность предусмотрена конструкцией РЭМ;

— параллельность плоскости рельефной меры относительно направления строчной развертки РЭМ, что подтверждается равенством отрезков DL и DR на видеопрофилях, приведенных на рисунке 1 б) и в).

Примечание — Процедура проверки установки рельефной меры на рабочем столе РЭМ зависит от его конструкции и используемого типа катода для получения электронного зонда. В качестве операций, которые проводят при такой проверке, могут быть настройка соответствующего значения тока зонда, компенсация астигматизма, настройка тока объективной линзы, юстировка объективной диафрагмы и др. Поэтому для каждого конструктивного исполнения РЭМ целесообразно разработать методику проверки установки рельефной меры, определяющую последовательность операций и визуальные критерии оптимальной фокусировки электронного зонда.

7.8 Если после проверки по 7.7 не получены положительные результаты, то рельефную меру перемещают на рабочем столе РЭМ по линии элемента рельефа на расстояние, соответствующее размеру изображения. После этого операции по 7.4 — 7.7 повторяют.

Примечание — Необходимость перемещения рельефной меры характерна для РЭМ с паромасляной системой откачки, в которых за время выполнения операций по 7.6 может произойти нарастание слоя загрязнений, искажающего размеры элементов рельефной меры. В высоковакуумных РЭМ и РЭМ с безмасляной откачкой этот эффект значительно слабее. Необходимость перемещения устанавливают экспериментально на этапе подготовки РЭМ к калибровке. В протоколе с результатами калибровки делают запись о выполнении операций по 7.7 и 7.8.

7.9 Настраивают видеоконтрольное устройство РЭМ таким образом, чтобы число пикселей в направлении сканирования было достаточным для того, чтобы можно было пренебречь значением неопределенности, обусловленным квантованием видеосигнала. Это достигается выбором соответствующих размеров изображения в пикселях и электронно-оптического увеличения микроскопа. Выбор увеличения осуществляют таким образом, чтобы видеопрофиль элемента, изображенного на рисунке 1а), имел вид, приведенный на рисунке 1б) или в). При этом значения проекций наклонных стенок выступа А L , AR, измеренных по видеопрофилю, должны быть не менее 200 пикселей.

8 Процедура проведения измерений

8.1 В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ выполняют сканирование исследуемого элемента рельефной меры. Видеопрофиль выступа рельефной меры представлен на рисунке 1б) и в).

8.2 Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 1б) и в), оформляют в виде протокола калибровки. Форма протокола — произвольная. Протокол с результатами калибровки должен храниться как минимум до следующей калибровки РЭМ.

9 Обработка результатов измерений

9.1 Вычисление координат контрольных точек на видеопрофиле информативного сигнала микроскопа

Для калибровки РЭМ используют расстояние в направлении сканирования в пикселях между контрольными точками, которое не зависит от эффективного диаметра электронного зонда при выполнении условия по 7.7.

Расположение контрольных точек 1-4 на видеопрофиле информативного сигнала приведено на рисунке 1б) и в).

Ординату контрольной точки 1 вычисляют как полусумму ординат точек первого и второго изломов в направлении сканирования 0,5 Н1 в пикселях.

Ординату контрольной точки 2 вычисляют как полусумму ординат точек третьего и четвертого изломов в направлении сканирования 0,5 Н2 в пикселях.

Ординату контрольной точки 3 вычисляют как полусумму ординат точек пятого и шестого изломов в направлении сканирования 0,5 Н2 в пикселях.

Ординату контрольной точки 4 вычисляют как полусумму ординат точек седьмого и восьмого изломов в направлении сканирования 0,5 Н1 в пикселях.

По вычисленным значениям ординат определяют соответствующие им значения абсцисс контрольных точек 1 — 4.

9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков

Значения вспомогательных отрезков для низковольтных или высоковольтных РЭМ определяют по значениям абсцисс контрольных точек, вычисленных по 9.1:

AL , AR — разность значений абсцисс второй и первой контрольных точек и четвертой и третьей контрольных точек соответственно в пикселях;

DL , DR — разность значений абсцисс второго и первого изломов и восьмого и седьмого изломов на видеопрофиле соответственно в пикселях.

9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ

Масштабный коэффициент видеоизображения т, нм/пиксель, вычисляют по формуле

где а — значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

AL , AR — расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.

9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного зонда РЭМ

Эффективный диаметр электронного зонда РЭМ d, нм, вычисляют по формуле

где т — масштабный коэффициент видеоизображения, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

DL , DR — расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.

10 Оценка неопределенности измерений параметров

10.1 Суммарную стандартную неопределенность ис(т), нм/пиксель, измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ т вычисляют по формуле

где и(а) — стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

т — масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

u (AL), и(А R ) — стандартные неопределенности измерений проекций наклонных стенок выступа по видеопрофилю, пиксель;

AL , AR — расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.

Примечание — Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность измерения проекции наклонной стенки выступа, то вычисление и(а) осуществляют по [ 6]. При равномерном квантовании видеосигнала значения u(AL) и u(AR) принимают равными 0,5 пиксель.

10.2 Суммарную стандартную неопределенность uc(d), нм, измерения эффективного диаметра электронного зонда РЭМ d, вычисляют по формуле

где DL, DR — расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель;

и с (т) — суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ, вычисленная по 10.1, нм/пиксель;

т — масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

u (DL), u(D R ) — стандартные неопределенности измерений расстояний между контрольными точками.

Примечание — При равномерном квантовании видеосигнала значения u(DL), и u(D R ) принимают равными 0,5 пиксель.

11 Оформление результатов калибровки

11.1 Результаты калибровки оформляют в виде сертификата о калибровке установленной формы [ 7] с соответствующей записью об этом в паспорте (формуляре) на РЭМ и удостоверяют калибровочным знаком, наносимым на РЭМ.

11.2. В сертификате о калибровке и в паспорте (формуляре) на РЭМ должны быть приведены значения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ т и эффективного диаметра электронного зонда РЭМ d. Для перечисленных метрологических характеристик РЭМ необходимо также указать значения неопределенностей, вычисленных по разделу 10.

Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок аккредитации метрологических служб юридических лиц на право проведения калибровочных работ

[ 2] Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей (утверждены приказом Минэнерго России от 13.01.2003 г. № 6; зарегистрированы Минюстом России 22.01.2003 г., per . № 4145)

[3] ПОТ Р М-016-2001

Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок

[4] Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы СанПиН 2.2.4.1191-03

Электромагнитные поля в производственных условиях

[5] Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы СанПиН 2.2.2/2.4.1340-03

Гигиенические требования к персональным электронно-вычислительным машинам и организации работы

Государственная система обеспечения единства измерений. Применение «Руководства по выражению неопределенности измерений»

Государственная система обеспечения единства измерений. Требования к выполнению калибровочных работ

Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, растровые электронные микроскопы, методика калибровки

Р РСК 002-06 Рекомендация РСК «Основные требования к методикам калибровки, применяемым в Российской системе калибровки»

3.4. Во вводной части устанавливают назначение методики калибровки, а также степень её соответствия международным документам и (или) национальным (государственным) стандартам, а также вид калибровки (первичная и (или) периодическая).

Смотрите так же:  Подогреватель можно ли вернуть

3.5. В случае, если при разработке методики калибровки в процессе разработки средства измерений ставилась задача определения оптимального межкалибровочного интервала, либо, если рекомендации по определению срока последующей калибровки даны в самой методике калибровки, во вводной части методики калибровки помещается соответствующая информация.

3.6. В подразделе «Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе калибровки» (либо в подразделе «Требования к погрешностям измерений параметров, определяемых в процессе калибровки»), устанавливаются соответствующие значения, обеспечивающие получение результатов калибровки с указанной в методике неопределенностью (либо погрешностью, соответственно).

3.7. Подраздел «Требования к средствам калибровки и вспомогательному оборудованию» должен содержать перечень основных и вспомогательных средств калибровки, стандартных образцов, оборудования и материалов с указанием метрологических и основных технических характеристик этих средств и (или) нормативных документов, регламентирующих эти требования.

3.8. Подраздел «Требования к условиям проведения калибровки» должен содержать перечень величин, влияющих на метрологические характеристики калибруемых средств измерений или средств калибровки, с указанием их нормируемых номинальных значений и допускаемых отклонений, в пределах которых сохраняются характеристики неопределенности, приписываемые данной методике калибровки.

3.9. Если к квалификации калибровщиков предъявляют особые квалификационные требования, после раздела «Технические требования» в методику калибровки должен быть включен раздел «Требования к квалификации калибровщиков».

3.10. Раздел «Требования к квалификации калибровщиков» должен содержать требования к уровню квалификации лиц, выполняющих калибровочные работы: профессия, образование, специальная подготовка, практический опыт работы и т.д.

3.11. Раздел «Требования по обеспечению безопасности» должен содержать требования, обеспечивающие при проведении калибровок безопасность труда калибровщиков, производственную санитарию, охрану окружающей среды.

В отдельных случаях вводят указания о необходимости отнесения процесса проведения калибровки к работам с вредными или особо вредными условиями труда.

3.12. Раздел «Подготовка к процедуре калибровки» должен содержать перечень и способы выполнения работ, которые необходимо провести перед процедурой калибровки, включая проверку комплектности и внешнего вида средства измерений, действия и взаимодействия его отдельных частей и элементов (в том числе прочности и электрического сопротивления изоляции, герметичности и т.п.).

3.13. Раздел «Процедура проведения измерений» должен содержать перечень наименований и описание операций, проводимых при калибровке, по определению действительных значений метрологических характеристик калибруемого средства измерений.

3.13.1. Описание каждой операции выделяют в отдельный пункт, в котором указываются: наименование определяемой метрологической характеристики калибруемого средства измерений, используемый метод калибровки, схемы подключения, чертежи, указания о порядке проведения операций, формулы, графики, таблицы с пояснением входящих в них обозначений, указания о пределе допускаемой погрешности отсчета, рекомендации по числу значащих цифр, фиксируемых в протоколе, и т.д.

3.13.2. Если при проведении операции калибровки необходимо вес ти протокол записи результатов измерений по определенной форме, это следует указать, а в приложении привести форму протокола с указанием объема сведений, приводимых в нем.

3.14. Раздел «Обработка результатов измерений» включают в методику калибровки при наличии сложных способов обработки результа тов измерений.

3.14.1. Если обработка результатов измерений осуществляется с использованием программного обеспечения, в данном разделе необходимо указать разработчика программного обеспечения, алгоритмы расчета и их блок-схемы, а в приложении к методике калибровки при вести:

— описание структуры программного обеспечения (далее — ПО) и выполняемых функций, в том числе последовательность обработки данных;

— описание функций и параметров частей ПО;

— описание модулей ПО;

— перечень интерфейсов и перечень команд для каждого интерфей са, включая заявление об их полноте;

— список значений и действие всех команд, получаемых от клавиа туры, мыши и других устройств ввода;

— описание реализованной методики идентификации ПО;

— описание реализованных методов защиты ПО и данных;

— описание интерфейсов пользователя, всех меню и диалогов;

— описание хранимых и передаваемых наборов данных;

Комментарии к разделу 1

1.1 Принимая во внимание п. 1.6 ГОСТ ИСО/МЭК 17025, подтверждение соответствия данному стандарту означает также подтверждение соответствия стандарту ИСО 9001 «Системы менеджмента качества. Требования». С другой стороны, ГОСТ ИСО/МЭК 17025 содержит требования, которые отсутствуют в стандарте ИСО 9001, что полностью распространяется на методики калибровки средств измерений.

Данный комментарий может оказаться полезным в случае, когда калибровочная лаборатория находится в административном подчинении руководителя системы менеджмента качества, осуществляемого на основании стандартов ИСО 9000. В этой ситуации, в некоторых случаях, возникает недопонимание особенностей требований, предъявляемых ГОСТ ИСО/МЭК 17025 к калибровочным лабораториям и, в частности, к методикам калибровки.

1.2 Основное требование, предъявляемое ГОСТ ИСО/МЭК 17025 к методикам калибровки (п. 5.4.2) заключается в том, что «лаборатория должна использовать методики. калибровки. которые отвечают потребностям заказчиков и пригодны для предпринимаемой. калибровки» (многоточия касались методик испытаний). «Преимущественно следует использовать методики, приведенные в международных, региональных (межгосударственных) или национальных стандартах». Иначе говоря, никаких «запретительных» требований к разработчикам методик калибровки стандарт не вносит.

Судя по практике, чаще всего в качестве методик калибровки, до настоящего времени, использовались, как правило, методики поверки, стандартизованные или являющиеся частью эксплуатационной документации, представленной при утверждении типа средства измерений, а также методики калибровки, разработанные на основе соответствующих методик поверки. Необходимость в разработке новых методик калибровки возникает, как правило:

у разработчиков средств измерений единичного производства или малой серии, не предназначенных для применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений;

у пользователей импортных средств измерений, закупленных или полученных без надлежащей документации;

у разработчиков эталонов и другого уникального оборудования, для которых определение точностных характеристик является наиглавнейшей задачей.

«Если заказчик не указал метод, который следует использовать. » ГОСТ ИСО/МЭК 17025 отсылает к методам, которые «рекомендованы авторитетными техническими организациями, описаны в соответствующих научных статьях или журналах. ». Иначе говоря, разработчиком методики калибровки может быть любое компетентное заинтересованное лицо, которое может пользоваться любыми доступными для него источниками.

II «3.1 По назначению методики калибровки подразделяются на:

— методики калибровки, предназначенные для калибровки средств измерений, относящихся к одной или нескольким группам средств измерений;

— методики калибровки, предназначенные для калибровки средств измерений одного или нескольких типов средств измерений;

— методики калибровки, предназначенные для калибровки единичных экземпляров средств измерений».

Комментарии к п. 3.1

Указанные три вида методик калибровки по содержанию будут также существенно отличаться друг от друга.

Методика калибровки, предназначенная для калибровки средств измерений, относящихся к одной или нескольким группам средств измерений, может носить более общий, рекомендательный характер, может иметь ряд подразделов, касающихся той или иной группы средств измерений, должна содержать информацию об общих моментах и различиях при калибровке той или иной группы средств измерений.

Аналогичные требования предъявляются и к методикам калибровки, предназначенным для калибровки средств измерений одного или нескольких типов. При этом из наименования методики должно быть ясно, какова сфера ее распространения, т.е. указаны типы средств измерений, для калибровки которых она предназначена.

Методики калибровки единичных экземпляров средств измерений, или одного типа, должны быть максимально конкретны. В наименовании должен быть указан объект калибровки, а в некоторых случаях и наименование физического метода, положенного в основу калибровки.

Особое внимание следует уделять методикам калибровки эталонов, используемых для калибровки средств измерений, что должно быть также ясно из наименования методики.

III «4 Общие требования к содержанию и изложению методики калибровки»

«4.3 В обоснованных случаях допускается объединять или исключать отдельные разделы, или добавлять в случае необходимости дополнительные разделы».

Комментарии к п. 4.3

В качестве дополнительного раздела во многих случаях следует вводить раздел, объясняющий физический принцип, положенный в основу методики калибровки. Например: «Определение удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов методом Холла». При этом название методики также должно содержать упоминание о сути используемого метода. Например: «Методика калибровки установок для измерений удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов методом Холла».

Следует иметь в виду, что методики калибровки, основанные на разных физических принципах, в основу которых положены разные физические модели, могут обладать разными метрологическими характеристиками. Здесь в полной мере работает понятие «неопределенность результата измерений», т.к. объект измерения может в той или иной степени не совпадать ни с той, ни с другой моделью, положенной в основу метода измерений. Заказчик разработки методики калибровки или самих калибровочных работ должен быть уведомлен о возможности многовариантного подхода к решению поставленной им задачи.

IV «4.4 Во вводной части необходимо устанавливать назначение методики калибровки, а также степень ее соответствия международным документам, региональным, межгосударственным и (или) национальным стандартам».

Комментарии к п. 4.4

Принимая во внимание тот факт, что стандартов на методики калибровки в настоящий момент несоизмеримо меньше, чем стандартов любого ранга на методики поверки, наиболее очевидным первоисточником для разработки методик калибровки могут быть стандарты и методические инструкции на методики поверки. Здесь, как правило, возможны два варианта: либо во вводной части следует писать «настоящая методика калибровки разработана на основе. (далее пишется ранг и наименование методики поверки, положенной в основу данной методики калибровки)», либо: «в настоящей методике использованы разделы. (указываются номера и наименования разделов конкретного документа, положенного в основу разработки данной методики калибровки)». Во многих случаях методики калибровки могут быть разработаны на основе зарубежных или международных стандартов, при этом содержание и порядок изложения желательно адаптировать в соответствии с данным стандартом.

Тот же принцип может быть положен в основу разработки методики калибровки, предназначенной для калибровки группы средств измерений на основании методики калибровки (поверки), предназначенной для калибровки (поверки) конкретного типа средств измерений. Использовать методику калибровки конкретного типа средств измерений для калибровки группы средств измерений без соответствующей ее переработки недопустимо.

V «4.5 В том случае, если рекомендации по определению срока последующей калибровки даны в самой методике калибровки, во вводной части методики калибровки следует представлять соответствующую информацию».

Комментарии к п. 4.5

Как правило, методика калибровки не должна содержать рекомендации по установлению межкалибровочного интервала. Однако, если это входит в интересы заказчика, межкалибровочный интервал может быть установлен:

— исходя из информации о соответствующем межповерочном интервале аналогичных средств измерений;

— исходя из экспериментальных данных, полученных калибровщиком в результате специально организованного эксперимента в рамках процедуры калибровки;

— исходя из анализа статистических данных результатов калибровки этого или подобных средств измерений, при использовании их в соответствующих условиях, с соответствующей интенсивностью эксплуатации (при наличии этих данных у калибровщика).

В этом случае во вводной части методики калибровки должно быть указано, что данная методика калибровки кроме процедуры калибровки устанавливает также и межкалибровочный интервал или рекомендации по процедуре определения межкалибровочного интервала.

Определенную помощь в установлении межкалибровочных интервалов может оказать международный документ МОЗМD 10 «Руководящие принципы определения интервалов калибровки средств измерений».

VI «4.6 В подразделе «Требования к неопределенностям измерений, определяемым в процессе калибровки» указывают значения целевой неопределенности измерений при калибровке».

Комментарии к п. 4.6

Важными характеристиками методики калибровки, которые могут интересовать заказчика калибровочных работ, являются показатели точности определения метрологических характеристик средства измерений, например, так называемая «неопределенность оценки метрологических характеристик» средства измерений. Исходными данными для определения этих характеристик могут служить следующие параметры методик калибровки: соотношение неопределенностей измерений средств калибровки (эталонов) и калибруемых средств измерений; число точек, проверяемых в диапазоне измерения; число наблюдений при экспериментальном определении характеристик значений погрешности измерений в проверяемой точке, подлежащих совместной обработке для получения значения неопределенности измерения.

При расчете этих характеристик можно воспользоваться МИ 187-86 «Достоверность и требования к методикам поверки средств измерений». Документ, как мы видим, старый и посвящен методикам поверки, но целый ряд положений в полной мере может распространяться на методики калибровки. Это как раз тот случай, когда разработка методики калибровки может представлять собой интересную научно-исследовательскую работу. Также весьма полезным в данной работе может оказаться ГОСТ Р 50779.21-2004 «Статистические методы. Правила определения и методы расчета статистических характеристик по выборочным данным. Часть 1. Нормальное распределение».

В ряде случаев в данном пункте может указываться «целевая неопределенность измерений», под которой понимается неопределенность измерений, заранее установленная и принятая как верхний предел, исходя из предполагаемого использования результатов измерений, получаемых с помощью данного средства измерений. Экспериментально определенная неопределенность измерений может оказаться меньше значения целевой неопределенности, и именно это значение должно быть зафиксировано в Сертификате калибровки. Однако, если в результате обработки экспериментальных данных, полученных при калибровке средства измерений, значение неопределенности измерений того или иного параметра, измеряемого с помощью данного средства измерений, окажется больше целевой неопределенности, то это будет означать либо то, что данное средство измерений действительно не удовлетворяет требованиям заказчика и не может быть использовано по своему назначению, либо то, что условия и процедуры проведения калибровки или требования к используемым средствам калибровки установлены некорректно или с ошибками.

Смотрите так же:  Просим расторгнуть договор и заключить новый

При разработке данного раздела методики калибровки рекомендуем пользоваться РМГ 91-2009 «ГСИ. Совместное использование понятий «погрешность измерения» и «неопределенность измерения». Общие принципы» и Р 50.1.109-2016 «Политика ИЛАК в отношении неопределенности при калибровках».

VII «4.8 Подраздел «Требования к условиям проведения калибровки» должен содержать перечень величин, влияющих на метрологические характеристики калибруемых средств измерений или средств калибровки, с указанием их нормируемых номинальных значений и допускаемых отклонений, в пределах которых характеристики, приписываемые данной методике калибровки, остаются неизменными».

Комментарии к п. 4.8

Подраздел «Требования к условиям проведения калибровки» может быть дополнен, при необходимости, требованиями, предъявляемыми к характеристикам объектов измерений, которые могут влиять на результаты измерений. (Например: подготовка поверхности; неоднородность распределения параметра; неполное совпадение зависимостей контролируемых параметров с физической моделью, положенной в основу метода измерений и др.).

VIII «4.11 Раздел «Требования по обеспечению безопасности» должен содержать требования, обеспечивающие при проведении калибровок безопасность труда калибровщиков, соблюдение норм производственной санитарии, охрану окружающей среды.

В отдельных случаях могут быть введены указания о необходимости отнесения процесса проведения калибровки к работам с вредными или особо вредными условиями труда».

Комментарии к п. 4.11

При написании данного раздела следует ознакомиться с межгосударственными стандартами Системы Стандартов Безопасности Труда (ССБТ): ГОСТ 12.0. . 12.1. . 12.2. . и др.

IX «4.13 Раздел «Процедура калибровки» должен содержать перечень наименований и описание операций по определению действительных значений метрологических характеристик калибруемого средства измерений».

Комментарии к п. 4.13

При описании процедуры калибровки необходимо строго соблюдать последовательность всех действий, включая документирование результатов этих действий. Необходимо предусматривать наличие и форму промежуточных протоколов, последовательное введение обозначений и наименований контролируемых и вычисляемых величин. Главное требование к описанию процедуры калибровки — это ее воспроизводимость любым лицом, отвечающим требованиям раздела «Требования к квалификации калибровщиков».

Вводимые чертежи, рисунки, а также формулы должны иметь сквозную нумерацию.

При использовании технической терминологии достаточно специфического применения после раздела «Нормативные ссылки» следует вводить раздел «Определения» (или «Термины и определения»), где приводятся все термины (с определениями), которые могут быть не всем понятны или иметь различные толкования. При этом следует иметь в виду, что вносить изменения в термины или определения, установленные в законодательстве по обеспечению единства измерений, нежелательно.

X «4.14 Раздел «Обработка результатов измерений» следует включать в методику калибровки при наличии сложных способов обработки результатов измерений».

Комментарии к п. 4.14

Раздел «Обработка результатов измерений» должен быть четко связан с разделом «Процедура калибровки». Возможны случаи, когда все промежуточные расчетные данные получены в предыдущем разделе, а в данном разделе производится расчет окончательных результатов. Данный вариант является предпочтительным при наличии многих промежуточных расчетов, последовательно производимых в процессе калибровки. В разделе «Обработка результатов измерений» желательно оставлять расчет выходных характеристик методики калибровки, т.е. определяемых метрологических характеристик калибруемого средства измерений.

Очевидно, что данный раздел может отсутствовать, если расчеты ведутся автоматически, встроенным программным обеспечением. Но и в этом случае должна присутствовать схема алгоритма расчета.

XI «4.15 Раздел «Оформление результатов калибровки» должен содержать требования к оформлению результатов калибровки».

Комментарии к п. 4.15

Выбор способа оформления результатов калибровки осуществляется, как правило, заказчиком калибровочных работ, и в большой степени зависит от того, делается ли калибровка для внутренних нужд предприятия или для сторонних организаций. (Здесь не рассматривается случай, когда речь идет о калибровке эталонов).

В соответствии с ГОСТ ИСО/МЭК 17025, если калибровка проводится для внутренних нужд предприятия, то, по согласованию с заказчиком, результаты калибровки могут быть представлены в упрощенном виде. Данная ситуация характерна для крупных предприятий, использующих десятки тысяч средств измерений. Подтверждение факта проведения калибровки средства измерений может осуществляться нанесением оттиска калибровочного клейма на корпус средства измерений.

Тем не менее, действительные значения метрологических характеристик откалиброванного средства измерений, конкретная дата проведения калибровки, доказательства прослеживаемости измерений, используемая методика калибровки, условия, при которых проходила калибровка должны быть зафиксированы в протоколе калибровки с тем, чтобы любая информация, которая не была передана заказчику, оставалась в калибровочной лаборатории и могла быть восстановлена по первому требованию. Кроме того, наличие накапливаемой информации об изменении действительных значений метрологических характеристик средств измерений, применяемых в тех или иных условиях на предприятии или с той или иной интенсивностью, дает возможность оптимизировать межкалибровочный интервал: сделать его короче, если точностные характеристики средства измерений ухудшаются много раньше срока окончания установленного стандартного межкалибровочного интервала, или существенно его удлинить, если на самом деле значения метрологических характеристик стабильны в течение длительного времени. В этом также может быть заинтересовано производство.

XII «4.15.2 В соответствии с ГОСТ ИСО/МЭК 17025 и рекомендацией [1] сертификат калибровки должен содержать следующую информацию. »

Комментарии к п. 4.15.2

Сертификат калибровки в обязательном порядке должен иметь идентификационный номер, соответствующий номеру в журнале регистрации средств измерений, принятых и прошедших калибровку. Это необходимо для обеспечения поиска соответствующего сертификата калибровки в случае необходимости и для предотвращения фальсификации сертификатов калибровки. Максимальная информативность номера сертификата калибровки достигается, если номер сертификата калибровки содержит:

— условное обозначение калибруемого средства измерений;

— шифр калибровочного клейма данной калибровочной лаборатории (при его наличии);

— идентификационный знак калибровщика (в случае, если калибровщикам в данной калибровочной лаборатории присваиваются идентификационные знаки);

— порядковый номер сертификата калибровки в соответствии с журналом регистрации средств измерений, прошедших калибровку;

— последние цифры года выдачи сертификата калибровки.

В случае подтверждения компетентности калибровочной лаборатории в какой-либо системе оценки и подтверждения компетентности, Сертификат калибровки должен содержать информацию о документе, выданном уполномоченным органом данной системы, подтверждающем компетентность и, при наличии, логотип данной системы.

Изменения или дополнения к сертификату калибровки должны оформляться в виде дополнительного документа и включать формулировку: «Дополнение к Сертификату калибровки № _____________ от _____________».

Если дополнения или изменения к сертификату калибровки существенно меняют его содержание, допускается выдача нового сертификата калибровки с указанием: «взамен Сертификата калибровки № ________ от _____________».

Хорошим пособием для обучения оформлению сертификатов калибровки могут послужить Рекомендации КООМЕТ СООМЕТ R/GM/15:2007 «Порядок оформления сертификатов калибровки, выдаваемых национальными метрологическими институтами в рамках CIPM MRA».

Оттиск калибровочного клейма наносится на средство измерений в случае, если калибровка проводилась в полном соответствии (в полном объеме) со стандартной методикой калибровки (поверки) и средство измерений соответствует установленным в описании типа (паспорте) требованиям.

Если конструктивная особенность или геометрические размеры средства измерений, а также условия эксплуатации средства измерений не позволяют нанести или сохранить оттиск калибровочного клейма, по результатам калибровки в обязательном порядке должен выдаваться сертификат калибровки.

Калибровочный знак (клеймо) должен обеспечивать возможность идентификации проведенной процедуры, а именно:

— должно быть ясно, что проведена именно калибровка (знак должен содержать букву «К»);

— должно быть ясно, представителем какого юридического лица или индивидуального предпринимателя проведена калибровка (шифр калибровочного клейма, при его наличии, или другой опознавательный знак данной калибровочной лаборатории);

— дата (год, квартал) проведения калибровки;

— идентификационный знак калибровщика (при наличии).

Форма калибровочного клейма для средств измерений, выпускаемых из производства и проходящих первичную калибровку — прямоугольная, во всех остальных случаях — квадратная.

XIII «4.16 При оценке неопределенности измерений, осуществляемой при калибровке средства измерений, все составляющие неопределенности, являющиеся существенными в данной ситуации, должны быть приняты во внимание при помощи соответствующих методов анализа. »

Комментарии к п. 4.16

Основным документом, в котором устанавливаются основные положения и требования, в соответствии с которыми осуществляется оценивание неопределенности измерений при калибровках, является документ Европейской ассоциации по аккредитации ЕА 4/02:1999 «Выражение неопределенностей измерений при калибровках». В соответствии с данным документом «указание результата измерений является полным только тогда, когда оно содержит как значение, приписанное измеряемой величине посредством измерения, так и неопределенность измерения, связанную с этим значением».

Неопределенность результата измерений отражает неполное знание о значении измеряемой величины. Источниками неопределенности измерений, осуществляемых с помощью откалиброванного средства измерений, в соответствии с ЕА 4/02, могут быть:

— неоднозначное определение измеряемой величины;

— неполная реализация измеряемой величины;

— нерепрезентативная выборка — измеренный образец может не представлять определяемую измеряемую величину;

Как видим, перечисленные источники неопределенности результата измерений характеризуют не средство измерений, а объект измерений.

— неадекватное знание влияний условий окружающей среды (как на средство измерений, так и на объект измерения) или несовершенное измерение условий окружающей среды;

— разрешающая способность средства измерений или порог чувствительности;

— неопределенность значений величин, приписанных эталонам или стандартным образцам веществ и материалов;

— неточные значения констант и других параметров, полученных от внешних источников и используемых в алгоритме обработки данных;

— аппроксимации и предположения, используемые в методе измерений, измерительной процедуре и при обработке данных.

Как уже упоминалась, одним из источников неопределенности результатов измерений может быть несовпадение физической модели, положенной в основу метода калибровки, с реальной физикой процедуры измерений.

При обработке статистических данных большое значение имеет правильный выбор вероятностных законов распределений рассчитываемых параметров.

Следует иметь в виду, что ряд источников неопределенности результата измерений могут быть зависимы друг от друга, т.е. коррелированы. Невнимание к этому явлению может привести к существенной ошибке при расчете неопределенности результата измерений, как в меньшую, так и в большую сторону.

Неопределенность измерения, связанная с оценками входных величин (эталонных значений), определяется по методу оценивания типа А или типа Б.

Метод А для оценивания стандартной неопределенности — это метод, при котором неопределенность измерения оценивается с помощью статистического анализа ряда наблюдений. В этом случае стандартная неопределенность измерения является экспериментальным стандартным отклонением среднего значения, которое получается с помощью метода усреднения или подходящего регрессионного анализа.

Как видим, особой разницы с традиционным оцениванием погрешности измерений здесь нет.

Метод Б для оценивания стандартной неопределенности измерения — это метод, при котором неопределенность измерения оценивается другими способами, чем статистический анализ ряда наблюдений. В этом случае оценка основывается на других технических, научных и метрологических знаниях, включая знания о метрологических характеристиках средств калибровки. Особое внимание следует уделять обеспечению прослеживаемости измерений до государственных эталонов и «накоплению» неопределенностей измерений в соответствии с используемой иерархической схемой передачи единицы величины от государственного эталона до рабочего средства измерений.

Именно поэтому в сертификате калибровки должны быть указаны доказательства прослеживаемости измерений, т.е. используемые при калибровке эталоны с указанием номеров и дат выданных свидетельств о поверке, сертификатов калибровки (или аттестатов). Большую пользу в обеспечении доказательств прослеживаемости измерений могут оказать Рекомендации по стандартизации Р 50.1.108-2016 «Политика ИЛАК по прослеживаемости результатов измерений».

Анализ неопределенности измерения, часто также называемый бюджетом неопределенности измерения, должен содержать список всех источников неопределенности, возникающих во время процедуры измерения, вместе с соответствующими им стандартными неопределенностями измерений и данными о том, как они были получены.

Как правило, для определения расширенной неопределенности измерения следует выбирать коэффициент охвата, гарантирующий вероятность покрытия не меньше 95 %. Во всех случаях, в которых принятие нормального распределения надежно не обосновано, необходимо получить информацию о действительном распределении вероятностей значений измеряемой величины, и из него определить значение коэффициента охвата, который соответствует вероятности покрытия 95 %.

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО
ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ